如何实现高精度气体质量流量控制的核心技术有哪些在2025年的工业自动化与半导体制造领域，气体质量流量控制（MFC）技术通过热式测量、压差传感和闭环PID算法的三重协同，已实现±0.5%的测量精度。我们这篇文章将从原理层、硬件架构和智能补偿...

07-053气体流量控制原理高精度传感器技术工业自动化2025流体动力学应用智能执行器发展