光刻机究竟需要什么样的无尘环境才能稳定运行2025年最新研究表明，EUV光刻机需要 Class 1 (ISO 3级) 无尘室环境，温控精度需达±0.01°C，振动控制在1μm以下。我们这篇文章将解析环境参数对7nm以下制程的关键影响，并揭...

07-024半导体制造技术超净环境控制极紫外光刻纳米级温控量子传感应用